Horizontalna pećnica
2.Lab Oprema za peć za kutiju: 1l -36 l
3. Temperatura rada može doseći 1200 stupnjeva -1700 stupanj
*** CISPER ZA CIJELO NAPOME
Opis
Tehnički parametri
Uvod uHorizontalna pećnica, to je oprema za grijanje koja se široko koristi u znanosti o materijalima, kemijskom inženjerstvu, poluvodičima i drugim poljima. Njegova strukturna značajka leži u vodoravnom rasporedu epruveta za peć, koje se zagrijavaju grijaćim elementima za obradu materijala unutar cijevi peći. Uzorak zagrijava kroz vodoravno uređene cijevi za peć, koje imaju prednosti precizne kontrole temperature, ujednačenog grijanja i jednostavnog rada.
Osobito u proizvodnji poluvodiča ima širok raspon primjena i značajne vrijednosti. Njegova jedinstvena struktura i funkcija čine je vrlo vrijednim u aplikacijama kao što su žarenje silicija, toplinska obrada, postupak metalizacije, postupak jetkanja i postupak pakiranja. Istodobno, kontrola visoke preciznosti, obrada visoke učinkovitosti, dobra prilagodljivost i izvrsna stabilnost IT-a također čine vrlo pouzdanim i stabilnim u proizvodnji poluvodiča.
Parametar
Princip rada
Princip rada aHorizontalna pećnicatemelji se na principima toplinske provođenja i konvekcije. Kad se grijaći element napaja za grijanje, toplina se prebacuje u cijev peći i uzorak kroz toplinsku provodljivost, dok vrući zrak unutar peći ravnomjerno distribuira toplinu u cijeloj peći kroz konvekciju.
Proces grijanja:
Nakon uključivanja elementa grijanja, stvara toplinu i prenosi ga u cijev za peć. Nakon zagrijavanja cijevi peći, toplinu prenosi u uzorak iznutra. Zbog izvrsne toplinske vodljivosti cijevi peći, uzorak može brzo dostići postavljenu temperaturu.
Kontrola temperature:
Sustav za kontrolu temperature nadgleda temperaturu unutar peći u stvarnom vremenu i podešava snagu grijaćeg elementa na temelju razlike između postavljene temperature i izmjerene temperature. Kad je izmjerena temperatura veća od postavljene temperature, regulator smanjuje snagu grijaćeg elementa; Kad je izmjerena temperatura niža od postavljene temperature, regulator povećava snagu grijaćeg elementa. Kontinuiranim podešavanjem snage grijaćeg elementa, temperatura unutar peći može se održavati konstantnom.
Kontrola atmosfere:
Sustav za kontrolu atmosfere kontrolira okruženje atmosfere unutar peći podešavanjem protoka i vrste protoka plina. Na primjer, u procesu proizvodnje poluvodiča potrebno je kontrolirati sadržaj kisika i vodene pare unutar peći kako bi se izbjegla oksidacija i kontaminacija uzorka. Sustav za kontrolu atmosfere može precizno kontrolirati atmosfersko okruženje unutar peći kako bi ispunio zahtjeve procesa.
Specifična primjena vodoravne cijevi u proizvodnji poluvodiča
Horizntalna cijevi Furnice ima širok raspon primjena u proizvodnji poluvodiča, a njegova jedinstvena struktura i funkcija čine ga jednom od neophodne opreme u postupku obrade poluvodiča.
Osnovna struktura i princip rada
Horizntalna cijevi za cijev je uobičajena oprema za obradu poluvodiča, koja izgleda kao duga cijev i unutra ima reakcijsku komoru s visokim temperaturama. Uređaj prihvaća metodu kontrole atmosfere, a različita okruženja atmosfere mogu se odabrati u skladu s različitim zahtjevima za obradu kako bi se postigao najbolji učinak obrade.
Princip rada horiontalne cijevi je zagrijavanje reaktanata unutar šupljine peći, uzrokujući da prođu kemijske reakcije ili fizičke promjene na visokim temperaturama, postižući tako svrhu obrade. U proizvodnji poluvodiča, vodoravne cijevi se uglavnom koriste za žarenje i toplinsku obradu silicijskih vafla.
Primjena u žarenja u silikonskom vaferu
Poboljšajte integritet rešetke silikonske rešetke
Silicijska vafel jedan je od važnih materijala u industriji poluvodiča, a njegova kvaliteta i performanse izravno utječu na pouzdanost i performanse uređaja poluvodiča. Tijekom obrade, silikonski vafli skloni su istezanju granice zrna zbog stresa, što može dovesti do prijeloma i oštećenja silikonskih kristala. Kroz žarenje visoke temperature u peći horiontalne cijevi može se ukloniti stres u silikonskom rezinu, održavajući ga netaknutim i izbjegavajući oštećenje rešetke silikonske rešetke.
Tijekom postupka žarenja, silikonski rez se postavlja unutar peći horiontalne cijevi i zadržava se na visokoj temperaturi neko vrijeme, postupno oslobađajući unutarnji stres silicijskog reza i preuređujući rešetku, poboljšavajući na taj način integritet rešetke silicija.
Poboljšanje električnih svojstava silikonskih vafera
Električna svojstva silikonskih rezina jedan su od ključnih čimbenika koji utječu na performanse poluvodičkih uređaja. Otkazom u peći horiontalne cijevi mogu se poboljšati električna svojstva silicijskih vafla, a njihova vodljivost i stabilnost mogu se poboljšati.
Tijekom postupka žarenja, silikonski rez reagira s atmosferom unutar peći pri visokim temperaturama, uklanjajući oksid na površini silicijskog reza i aktivirajući atome nečistoće unutar silicijskog reza, poboljšavajući tako električna svojstva.
Uklanjanje oksida s površine silikonskih rezina
Površina silikonskih rezina često sadrži okside, što može utjecati na njihovu vodljivost i stabilnost. Tijekom procesa proizvodnje potrebno je ukloniti okside s površine silicijskih rezina kako bi se osigurala njihova ravna i glatkoća, poboljšavajući na taj način performanse uređaja poluvodiča.
Peć horiontalne cijevi može ukloniti okside na površini silicijskih vafera kroz kontrolu atmosfere. Tijekom postupka žarenja, atmosfera unutar peći reagira s oksidom na površini silicijskog reza kako bi se stvorile hlapljive tvari, koje se zatim ispuštaju kroz ispušni sustav peći kako bi se postigao cilj uklanjanja oksida.
Primjena u toplinskoj obradi
Kontrola dopiranih silicijskih vafera
Na poluvodičkim uređajima potrebni su silikonski vafli koji su dopirani različitim materijalima zbog različitih zahtjeva za električnom učinkom. Peć horiontalne cijevi može koristiti različite parametre kontrole atmosfere za kontrolu stupnja i dubine dopinga silicijskih rezina, kako bi se ispunili zahtjevi različitih uređaja za doping silicija.
Tijekom postupka dopinga, silikonski rez se postavlja unutar peći horiontalne cijevi, a atmosfera unutar peći reagira sa silikonskom rezinom, omogućavajući dopiranim atomima da uđu u unutrašnjost silikonske rezine. Podešavanjem parametara kao što su atmosfera i temperatura unutar peći mogu se kontrolirati broj i raspodjela dopiranih atoma kako bi se postigao željeni učinak dopinga.
Priprema tankih filmova na površini silikonske vafe
U proizvodnji poluvodiča ponekad je potrebno pripremiti tanki film na površini silicijskog reza za poboljšanje svojih performansi ili postizanje specifičnih funkcija. Peć horizntalne cijevi može se koristiti za pripremu tankih filmova na površini silicijskih rezina.
Tijekom postupka pripreme tankog filma, silikonski rez se postavlja unutar horizontalne cijevi FRNACE, a atmosfera unutar peći reagira s površinom silicijskog reza na visokim temperaturama kako bi se stvorio željeni tanki film. Podešavanjem parametara poput atmosfere, temperature i vremena reakcije unutar peći može se kontrolirati debljina, sastav i svojstva filma.
Oksidacija i nitriranje silikonskih vafera
Oksidacija i nitridacija silicijskih vafera važni su koraci procesa u proizvodnji poluvodiča. Peć horizntalne cijevi može se koristiti za oksidaciju i nitriranje tretmana silikonskih vafla.
Tijekom procesa oksidacije, silikonski rez se stavlja u komoru peći peći horizntalne cijevi, a kisik u komori peći reagira s površinom silicijskog reza na visokoj temperaturi kako bi formirao silicijski dioksid. Podešavanjem parametara poput koncentracije kisika, temperature i vremena reakcije unutar peći može se kontrolirati debljina i svojstva filma silicijevog dioksida.
Tijekom postupka nitriranja, silikonski rez se postavlja unutar peći horizntalne cijevi, a dušični plin unutar peći reagira s površinom silikonske rezine na visokim temperaturama kako bi se stvorio silicijski nitridni film. Tanki filmovi silicija nitrida imaju izvrsnu otpornost na habanje, otpornost na koroziju i stabilnost visoke temperature, koji se mogu koristiti za zaštitu površine silikonskih rezina ili postizanja specifičnih funkcija.
Ostale primjene horizontalne cijevi u proizvodnji poluvodiča
Postupak metalizacije
Proces metalizacije jedan je od važnih koraka u proizvodnji poluvodiča, koji se koristi za formiranje metalnih elektroda ili žica na silikonskim vafrima. Peći horizntalne cijevi mogu se koristiti za obradu žarenja u procesima metalizacije za poboljšanje adhezije i stabilnosti metalnih elektroda ili žica.
Tijekom postupka žarenja, metalizirani silikonski rez stavlja se u peć peći peći horizntalne cijevi i zadržava se na visokoj temperaturi neko vrijeme kako bi se vezala veza između metalne elektrode ili žice i silicijskog reza čvršće, poboljšavajući tako prianjanje i stabilnost.
Postupak jetkanja
Postupak jetkanja korak je korak koji se koristi u proizvodnji poluvodiča za uklanjanje viška materijala s površine silikonskih vafla. Peć horizntalne cijevi može se koristiti za obradu žarenja nakon postupka jetkanja kako bi se uklonili oštećenja i stres nastali tijekom postupka jetkanja.
Tijekom postupka žarenja, utisnuta silikonska vafelja postavljena je unutar peći horizntalne cijevi i zadržava se na visokoj temperaturi neko vrijeme, postupno oslobađajući unutarnji stres od silicijskog reza i preuređujući rešetku, čime se uklanja oštećenja i stres tijekom procesa etching -a.
Postupak pakiranja
Postupak pakiranja posljednji je korak u proizvodnji poluvodiča, koji se koristi za kapsuliranje poluvodičkih uređaja unutar zaštitnih školjki kako bi se poboljšala njihova pouzdanost i stabilnost. Peć horizntalne cijevi može se koristiti za obradu žarenja u procesima pakiranja za uklanjanje stresa i oštećenja nastale tijekom postupka pakiranja.
Tijekom postupka žarenja, pakirani poluvodički uređaj postavlja se unutar peći horizntalne cijevi i zadržava se na visokoj temperaturi neko vrijeme kako bi se postupno oslobađao naprezanja unutar ambalažnog materijala, preuredio rešetku i uklonio stres i oštećenja nastale tijekom postupka pakiranja.
Smanjite toplinsku učinkovitost temperature ispušne temperature
Optimizirani dizajn odjeljka za konvekciju
Povećati broj konvekcijskih cijevi
Povećavanjem broja konvekcijskih epruveta, kontaktno područje između dimnog plina i površine grijanja može se proširiti kako bi se poboljšala učinkovitost izmjene topline i smanjila temperatura ispuha.
Optimizirani raspored konvekcijske cijevi
Razumni raspored konvekcijske cijevi čini učinkovitijim za snimanje i prenošenje topline dimnog plina. Na primjer, stupnjevi izgled ili spiralni raspored mogu se koristiti za povećanje puta protoka i vremena prebivališta dima u cijevi.
Poboljšati učinkovitost površine grijanja
Koristite učinkovite materijale za prijenos topline
Odaberite materijale s visokom toplinskom vodljivošću kako biste napravili grijaće površine, poput nehrđajućeg čelika, bakrene legure itd. Za poboljšanje učinkovitosti izmjene topline.
Održavajte površinu za grijanje čistom
Redovito čistite prašinu i prljavštinu na površini grijanja i održavate njegovu površinu čistom kako bi se poboljšala učinkovitost prijenosa topline. Akumulacija prašine i prljavština smanjit će performanse prijenosa topline površine grijanja, što rezultira povećanjem temperature ispušnih plinova.
Prilagodite postupak izgaranja
Razumna kontrola viška koeficijenta zraka
Koeficijent viška zraka omjer je stvarne opskrbe zrakom u odnosu na teorijsku opskrbu zrakom. Razumna kontrola viška koeficijenta zraka, izbjegavajte previše zraka u peć, može smanjiti volumen dima, smanjujući na taj način temperaturu ispuha.
Poboljšati učinkovitost izgaranja goriva
Optimiziranjem dizajna plamenika i podešavanjem parametara izgaranja, kao što su brzina ubrizgavanja goriva i temperatura komore za izgaranje, može se poboljšati učinkovitost goriva izgaranja, a količina nepotpunog goriva za izgaranje može se smanjiti, čime se smanjuje temperatura ispušnih plinova.
Povećajte opremu za oporavak otpadne topline
Ugradite predgrijač zraka
PREPRED ZRAKA može upotrijebiti otpadnu toplinu dimnog plina za prethodno zagrijavanje zraka koji ulazi u peć, poboljšavajući na taj način učinkovitost izgaranja i smanjujući temperaturu ispušnih plinova.
Postavite otpadnu toplinu kotla
Kotao otpadne topline može povratiti otpadnu toplinu u dimnom plinu i pretvoriti je u korisnu energiju poput pare ili tople vode, smanjujući na taj način temperaturu ispušnih plinova i poboljšanje učinkovitosti iskorištavanja energije.
Ostale mjere
Ojačajte mjere izolacije
Dobar tretman očuvanja topline za peć u peći u horizontalnoj cijevi može smanjiti gubitak topline i smanjiti temperaturu ispušnih plinova.
Redovito održavanje i održavanje
Redovito održavanje i održavanje peći vodoravne cijevi, poput provjere površine grijanja, čišćenja pepela, podešavanja parametara izgaranja, može osigurati njegov normalan rad i smanjiti temperaturu ispušnih plinova.
Treba napomenuti da u procesu smanjenja temperature ispušnih plinova dima, kao što su ekonomija, sigurnost i pouzdanost opreme, moraju se smatrati sveobuhvatno. Istodobno, također je potrebno odabrati odgovarajuće mjere i metode prema specifičnim zahtjevima procesa i radnim uvjetima.
Osim toga, kada je temperatura ispušnih plinova preniska, može uzrokovati koroziju točke niske temperature na površini izmjene topline. Stoga, pri odabiru temperature ispušnih plinova potrebno je izvagati čimbenike poput toplinske učinkovitosti i opreme kako bi se osiguralo da temperatura ispušnih plinova može smanjiti gubitak topline bez nanošenja oštećenja opreme.
Popularni tagovi: Horizontalna cijev peći, Kina vodoravna cijevi Proizvođači, dobavljači, tvornice
Sljedeći
Peć za cijevPošaljite upit
